Brooks Automation 001-4130-03 振动监测变送器

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Brooks Automation 001-4130-03并非振动监测变送器，而是一款晶圆对准控制器。它属于 VCE 系列，主要用于半导体制造过程中的晶圆对准操

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Brooks Automation 001-4130-03 振动监测变送器

Brooks Automation 001-4130-03并非振动监测变送器，而是一款晶圆对准控制器。

它属于 VCE 系列，主要用于半导体制造过程中的晶圆对准操作。该控制器采用先进的定位算法和伺服驱动器，能实现纳米级别的定位精度，误差范围可达 ±0.1μm。其工作温度范围通常为 - 40°C 至 85°C，防护等级具备防震、防尘、防潮特性，可适应恶劣的工业环境。此外，它还支持多种对准模式，配备直观的用户界面，具有实时监控和诊断等功能。

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